Title:
処理液、処理液収容体
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024022657
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】ＳｉＧｅをエッチングした際に被処理部の平滑性を良好にできる処理液を提供する。また、上記処理液に関する処理液収容体を提供する。【解決手段】フッ化物イオン源と、酸化剤と、添加剤と、を含有し、上記添加剤が、所定の化合物からなる群から選択される１種以上である、処理液。【選択図】なし
Inventors:
Nobuaki Sugimura
Application Number:
JP2023208933A
Publication Date:
February 16, 2024
Filing Date:
December 12, 2023
Export Citation:
Assignee:
Fujifilm Corporation
International Classes:
H01L21/308; C09K13/08
Attorney, Agent or Firm:
Hideaki Ito
Fumio Mihashi
Fumio Mihashi
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