Title:
反応焼結炭化珪素部材
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5729517
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】大型かつ複雑な形状のセラミック部材の作製を行うことができる、あるいはパーティクルの発生が抑えられる反応焼結炭化珪素部材を提供することを目的とする。【解決手段】反応焼結炭化珪素を含む第１部材と、第１面と、前記第１面とは反対側の第２面と、前記第１面と前記第２面とに繋がる第１端面と、を有し反応焼結炭化珪素を含む第２部材と、前記第１部材と前記第２部材とを接合する接合部であって、前記第１部材と前記第１端面とを接合し反応焼結炭化珪素を含む中間領域と、前記第１部材と前記第１面と前記中間領域とを接合し反応焼結炭化珪素を含む第１領域と、を含む接合部と、を備えた反応焼結炭化珪素部材が提供される。【選択図】図１
Inventors:
Amano Kazuki
Takayuki Ide
Shogo Shimada
Takayuki Ide
Shogo Shimada
Application Number:
JP2014220991A
Publication Date:
June 03, 2015
Filing Date:
October 30, 2014
Export Citation:
Assignee:
TOTO Ltd.
International Classes:
C04B37/00; G03F7/20; H01L21/027
Domestic Patent References:
| JP2007246319A | 2007-09-27 | |||
| JP2008137830A | 2008-06-19 | |||
| JP2001261459A | 2001-09-26 | |||
| JP2011530820A | 2011-12-22 |
Foreign References:
| WO2014133068A1 | 2014-09-04 | |||
| WO2014133068A1 | 2014-09-04 |
Attorney, Agent or Firm:
Masahiko Hinataji