Title:
リフレクタ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017538962
Kind Code:
A
Abstract:
基板（８）によって支持されたプレート（４）を備えるリフレクタ（２）であって、このプレートが反射面（５）を有し、かつ接着剤フリー接合によって基板に固定されており、リフレクタに冷却チャネルアレイ（１０）が設けられている、リフレクタ。冷却チャネルアレイのチャネル（１６）は、基板の表面における開チャネルから形成され、この開チャネルは、プレートによって閉鎖されてチャネルを作り出す。【選択図】図５
Inventors:
Nine Huis, Han-Kwan
Dondels, Schuurt, Nikolaas, Lambertus
Defleece, Gosse, Charles
Lenkens, Michael, Joseph, Matisse
Luopstra, Eric, Roelov
Dondels, Schuurt, Nikolaas, Lambertus
Defleece, Gosse, Charles
Lenkens, Michael, Joseph, Matisse
Luopstra, Eric, Roelov
Application Number:
JP2017525599A
Publication Date:
December 28, 2017
Filing Date:
November 04, 2015
Export Citation:
Assignee:
AS M Netherlands B.V.
International Classes:
G03F7/20; G02B5/08; G02B5/18; G02B7/195; G02B19/00
Domestic Patent References:
| JP2011053687A | 2011-03-17 |
Foreign References:
| US4408833A | 1983-10-11 | |||
| CN1558448A | 2004-12-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito