Title:
走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6795165
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】トーションバーの酸化や水酸化を防ぐことができ、それによるトーションバーの劣化を抑えることができる走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法を提供する。【解決手段】走査ミラーは、トーションバー２５が、ミラー部２４を支持するよう設けられ、表面がＡＬＤ層２７で覆われている。走査ミラーは、トーションバー２５に捩れ力を与えることにより、トーションバー２５に沿った軸を中心としてミラー部２４を回動可能に構成されている。走査ミラーは、ミラー部２４とトーションバー２５とを形成した後、少なくともトーションバー２５の表面に、原子層堆積法によりＡＬＤ層２７を形成することにより製造される。【選択図】図１
Inventors:
Kazuhiro Hane
Takashi Sasaki
Hiroki Fujita
Takashi Sasaki
Hiroki Fujita
Application Number:
JP2020545752A
Publication Date:
December 02, 2020
Filing Date:
April 27, 2020
Export Citation:
Assignee:
Tohoku University
International Classes:
G02B26/10; B81B3/00; B81C1/00; G02B26/08
Domestic Patent References:
| JP2002040353A | 2002-02-06 | |||
| JP2017171664A | 2017-09-28 |
Foreign References:
| US20070211257A1 | 2007-09-13 | |||
| US20180186625A1 | 2018-07-05 | |||
| WO2017006425A1 | 2017-01-12 |
Attorney, Agent or Firm:
Shuji Kusunoki