Title:
スクリーンマスクの製造方法およびスクリーンマスク
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024032174
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】陰像形成材料の表面側の平滑性を向上させ、厚さ方向の高さを一定に近づけることが可能となるスクリーンマスクの製造方法およびスクリーンマスクを提供する。【解決手段】陽像形成工程は、第１面になる側のパターン開口形成陽像以外の位置および第２面になる側のパターン開口形成陽像以外の位置の少なくともいずれか一方に凹部形成陽像を形成し、陰像形成工程は、パターン開口形成陽像７１ａ以外の部分であって凹部形成陽像４２，６２ａ以外の部分に陰像８５を形成し、陽像除去工程は、パターン開口形成陽像７１ａを除去すると共に凹部形成陽像４２，６２ａを除去することによって、陰像８５により、第１面９１と第２面９２とパターン開口とに加えて、第１面９１から第２面９２の手前まで凹む第１面側凹部および第２面９２から第１面９１の手前まで凹む第２面側凹部の少なくともいずれか一方を形成する。【選択図】図９
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Inventors:
Miki Kimura
Hiroko Ohta
Hiroko Ohta
Application Number:
JP2022135683A
Publication Date:
March 12, 2024
Filing Date:
August 29, 2022
Export Citation:
Assignee:
Takeda Tokyo Process Service Co., Ltd.
International Classes:
B41C1/14; B41N1/24; G03F7/12
Attorney, Agent or Firm:
Yasushi Matsunuma
Eisuke Ito
Koichiro Kamada
Eisuke Ito
Koichiro Kamada
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