Title:
二次電子プローブ、二次電子検出装置及び走査型電子顕微鏡検出装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7064218
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】電子の吸収率がほぼ１００％である二次電子プローブを用いた二次電子検出器を提供する。【解決手段】二次電子プローブ１０は、ナノメートルまたはマイクロメートルスケールの微小な間隔を有する多孔炭素材料層１０２からなり、多孔炭素材料層１０２をは、カーボンファイバー、カーボンマイクロワイヤー、カーボンナノチューブ、カーボンナノボール、カーボンミクロボールのいずれか一種または多種の複数の粒子でからなるカーボンナノチューブアレイ或いはカーボンナノチューブネットワーク構造体を形成する電子黒体である。【選択図】図１
Inventors:
Zhang family
Chen
Yanagi Peng
Ginger Kaito
Chen
Yanagi Peng
Ginger Kaito
Application Number:
JP2021068717A
Publication Date:
May 10, 2022
Filing Date:
April 14, 2021
Export Citation:
Assignee:
Zinfa University
International Classes:
H01J37/244
Domestic Patent References:
| JP2005032542A | 2005-02-03 | |||
| JPS58115383A | 1983-07-09 | |||
| JP2018147764A | 2018-09-20 |
Attorney, Agent or Firm:
Sbpj International Patent Office