Title:
免振制御装置および免振制御方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6786024
Kind Code:
B1
Abstract:
免振制御装置（４）は、架台（２）に固定された第１モータ（３０２）で第１可動部（３０１）を駆動し架台（２）に固定された第２モータ（３１２）で第２可動部（３１１）を駆動する駆動装置（３）を制御対象とし、時系列の追従指令（１０）に第１可動部（３０１）が追従するように第１モータ（３０２）の位置または速度を制御する第１制御部（４０）と、追従指令（１０）に含まれる架台（２）の振動周波数成分に相当する位置または速度の次元の指令である振動抑制指令（１１）の比例倍に第２モータ（３１２）の位置または速度を追従させる第２制御部（４１）と、を備えることを特徴とする。
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Inventors:
Yuji Igarashi
Shin Tono
Yuichi Kizu
Takashi Kai
Hiroyuki Sekiguchi
Hidetoshi Ikeda
Shin Tono
Yuichi Kizu
Takashi Kai
Hiroyuki Sekiguchi
Hidetoshi Ikeda
Application Number:
JP2020542357A
Publication Date:
November 18, 2020
Filing Date:
March 04, 2020
Export Citation:
Assignee:
Mitsubishi Electric Corporation
International Classes:
F16F15/02; G05D3/12; H02P5/46
Domestic Patent References:
| JPH0122624B2 | 1989-04-27 | |||
| JP2010041734A | 2010-02-18 | |||
| JP2012052666A | 2012-03-15 | |||
| JP2019012458A | 2019-01-24 |
Foreign References:
| WO2016125804A1 | 2016-08-11 |
Attorney, Agent or Firm:
Jun Takamura