Title:
センサエレメント
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4088317
Kind Code:
B2
Inventors:
Takashi Okudo
Manji Kataoka
Takashi Saijo
Kazukazu Miyajima
Toru Baba
Hirotsugu Goto
Manji Kataoka
Takashi Saijo
Kazukazu Miyajima
Toru Baba
Hirotsugu Goto
Application Number:
JP2006089558A
Publication Date:
May 21, 2008
Filing Date:
March 28, 2006
Export Citation:
Assignee:
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS,LTD.
International Classes:
G01C19/56; B81B3/00; G01C19/5762; G01C19/5769
Domestic Patent References:
| JP832090A | ||||
| JP2003329704A | ||||
| JP2003100919A | ||||
| JP2004304622A | ||||
| JP595122A | ||||
| JP2005166909A |
Other References:
高木秀樹 外3名,表面活性化法によるシリコンおよびシリコン酸化膜の低温無加圧接合,溶接学会全国大会講演概要 第61集,社団法人溶接学会,平成9年9月10日発行,p.224-225
須賀唯知,マイクロマシンの接合技術,第211回塑性加工シンポジウム「マイクロマシンの加工技術」,社団法人日本塑性加工学会,平成14年3月20日発行,p.15-20
須賀唯知,マイクロマシンの接合技術,第211回塑性加工シンポジウム「マイクロマシンの加工技術」,社団法人日本塑性加工学会,平成14年3月20日発行,p.15-20
Attorney, Agent or Firm:
Keisei Nishikawa
Atsuo Mori
Atsuo Mori