Title:
センサユニット
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2015037306
Kind Code:
A1
Abstract:
基板（１０１）と、基板（１０１）上に設けられ、光を検出する複数の受光部（１０２）と、基板（１０１）及び受光部（１０２）上に設けられ、対応する波長の光を回折して受光部（１０２）のそれぞれに集光する２つ以上の回折手段を有する回折格子層（１０３）と、を備え、回折手段の少なくとも２つは、第１の回折格子層に形成されたホログラムで構成されており、第１の回折格子層に形成された複数のホログラムの少なくとも一部は、隣接する他のホログラムと少なくとも一部分が重なり合っているセンサユニット（１００）。
Inventors:
Shin Tominaga
Yasuhiro Sasaki
Naotaka Takahashi
Junichiro Mataga
Yasuhiro Sasaki
Naotaka Takahashi
Junichiro Mataga
Application Number:
JP2015536465A
Publication Date:
March 02, 2017
Filing Date:
June 26, 2014
Export Citation:
Assignee:
NEC
International Classes:
G01J3/18; G01J3/36; H01L27/144; H01L37/02
Attorney, Agent or Firm:
Masahiko Desk
Naoki Shimosaka
Naoki Shimosaka
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