Title:
サーボ弁ユニット及び機器
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6727641
Kind Code:
B1
Abstract:
第１端部（６１ａ）及び第２端部（６１ｂ）を有するユニットボディ（１０）と、第１弁部（２０Ｒ）と、第２弁部（２０Ｌ）と、第１弁部（２０Ｒ）を開閉する第１シール部材（２２）と、第２弁部（２０Ｌ）を開閉する第２シール部材（２２）と、第１電気パルス（Ｓ１）により第１シール部材（２２）を駆動する第１駆動機構と、第２電気パルス（Ｓ２）により第２シール部材（２２）を駆動する第２駆動機構と、第１端部（６１ａ）と第１弁部（２０Ｒ）の間で延在する供給流路（１２）と、第２端部（６１ｂ）と第２弁部（２０Ｌ）の間で延在する排気流路（１３）と、第１弁部（２０Ｒ）及び第２弁部（２０Ｌ）を介して供給流路（１２）及び排気流路（１３）に接続された共通流路（１１）と、空圧アクチュエータ（４０）に接続される駆動流路（１４）を有するサーボ弁ユニット（２０）。
Inventors:
Kubo Battalion
Application Number:
JP2020524922A
Publication Date:
July 22, 2020
Filing Date:
January 10, 2020
Export Citation:
Assignee:
Eishin Giken Co., Ltd.
International Classes:
F15B9/03; F15B9/09
Domestic Patent References:
| JP60249705A |
Foreign References:
| US4518011 |
Attorney, Agent or Firm:
Mitsuru Inoue
Satoshi Nazuka
Satoshi Nazuka