Title:
基板処理システムにおけるシャワーヘッドのグルーピングフィーチャ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023524516
Kind Code:
A
Abstract:
【解決手段】方法は、第１の公差範囲内で機械加工される第１のフィーチャと、少なくとも所定距離だけ離れて配置され、選択されたフィーチャに関する規定寸法の第２の公差範囲内で機械加工される第２のフィーチャとを選択することを含む。方法は、ツールの切削アタッチメントを使用して、第１の公差範囲内で第１のフィーチャを機械加工し、第１の選択されたフィーチャの寸法にばらつきを生じさせる、ツールに関連付けられているパラメータが、所定の閾値に達すると、切削アタッチメントを使用して、第２の公差範囲内で第２の選択されたフィーチャを機械加工することを含む。第２の方法において、第１及び第２のフィーチャの寸法の平均値は、規定寸法からの所定の平均偏差以下であり、第１及び第２のフィーチャの寸法の標準偏差は、所定の標準偏差以下である。【選択図】図６
Inventors:
Ord Roit
Smajiassi Eugene
womack jeffrey
Lineberger Jr. Nick Ray
Schaumburg Damodar Rajaram
Madsen Eric
Smajiassi Eugene
womack jeffrey
Lineberger Jr. Nick Ray
Schaumburg Damodar Rajaram
Madsen Eric
Application Number:
JP2022566401A
Publication Date:
June 12, 2023
Filing Date:
April 07, 2021
Export Citation:
Assignee:
LAM RESEARCH CORPORATION
International Classes:
C23C16/455; B23Q17/09; B23Q17/20; H01L21/3065; H01L21/31
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Meisei International Patent Office
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