Title:
吸着分離プロセスのためのサイドチャンバプロセスモニタ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023514305
Kind Code:
A
Abstract:
流れの流体特性を分析するためのプロセス及び装置が、記載される。本プロセスは、疑似移動床システム及び回転バルブを利用する。本プロセスは、ポンプ周辺流の一部分をサイドチャンバに送ることを伴い、サイドチャンバ内の吸着部の水分含有量、若しくは流れの１つ以上の流体特性、又はその両方が、各流体特性に特化した分析器を使用して測定される。【選択図】図１
Inventors:
Harris, James W.
Frites, Heather A.
Ernest, Gregory A.
Williams, Chad A.
Frites, Heather A.
Ernest, Gregory A.
Williams, Chad A.
Application Number:
JP2022549403A
Publication Date:
April 05, 2023
Filing Date:
February 11, 2021
Export Citation:
Assignee:
UOP LLC
International Classes:
G01N1/00; B01D15/00
Attorney, Agent or Firm:
Osamu Yamamoto
Toru Miyamae
Junichi Matsuo
Takeuchi Shigeo
Toru Miyamae
Junichi Matsuo
Takeuchi Shigeo