Title:
炭化ケイ素粉末、その製造方法、及びこれを用いて炭化ケイ素インゴットを製造する方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024029762
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】炭化ケイ素インゴットの成長率を向上させ、炭化ケイ素ウエハの欠陷を減らす炭化ケイ素粉末、その製造方法、及びこれを用いて炭化ケイ素ウエハを製造する方法を提供する。【解決手段】炭素及びケイ素を含む炭化ケイ素粒子を含み、超音波処理後、粒径５０μｍ未満の質量割合が１０ｗｔ％以下である、炭化ケイ素粉末を提供し、それを用いて炭化ケイ素インゴットを成長させ、そのインゴットから炭化ケイ素ウェハを製造する。【選択図】図１
Inventors:
Park, Jung Fi
Kyon, Myeongok
Kyon, Myeongok
Application Number:
JP2023133149A
Publication Date:
March 06, 2024
Filing Date:
August 17, 2023
Export Citation:
Assignee:
SENIC Inc.
International Classes:
C01B32/956; C30B29/36
Attorney, Agent or Firm:
SK Patent Attorney Corporation
Akihiko Okuno
Hiroyuki Ito
Akihiko Okuno
Hiroyuki Ito