Title:
シリコン加熱炉
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2009019756
Kind Code:
A1
Abstract:
原料シリコンの金属汚染を防止できるとともに、熱膨張変形による加熱効率の低下を防止できる、シリコン加熱炉を提供する。シリコン加熱炉１０は、２つの半円筒炉２６ａ，２６ｂを円筒状に組み合わせることによって構成されている。２つの半円筒炉２６ａ，２６ｂのそれぞれは、半円筒状のハウジング３４を有しており、ハウジング３４の内側には、断熱材３６、ヒーター３８および均熱材４２が配設されており、ハウジング３４の周方向両端部内面には、断熱材３６の径方向への離脱を防止する径方向離脱防止部材４４が設けられており、径方向離脱防止部材４４には、断熱材３６の周方向端面３６ａを覆う周方向端面被覆部材４６が取り付けられている。そして、断熱材３６の周方向端面３６ａと周方向端面被覆部材４６との間には、内部に冷却水が通される周方向端面冷却管４８が配設されている。
Inventors:
Go Murai
Toshinori Konaka
Toshinori Konaka
Application Number:
JP2009526283A
Publication Date:
October 28, 2010
Filing Date:
August 06, 2007
Export Citation:
Assignee:
Theos Co., Ltd.
International Classes:
F27B17/00
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiaki Mori
Yuji Tada
Yuji Tada
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