Title:
スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015536239
Kind Code:
A
Abstract:
スラリー及び／又は化学ブレンドを、化学機械平坦化（ＣＭＰ）ツール、又は半導体作製設備におけるその他のツールに提供するのに好適な、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置、関連プロセス、使用方法、及び製造方法。スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置は、以下の：送出モジュール、混合モジュール、分析モジュール、及び分配モジュールの、１つ以上を備える。【選択図】図１Ａ
More Like This:
| JP4912336 | Complex with emulsion polymer film |
| WO/2009/087193 | METHOD AND APPARATUS FOR MIXING OF FLUIDS |
| WO2008137006 | SKIM TANK CONFIGURATIONS AND METHODS |
Inventors:
Gary Allen Byers
Bella Delex Kay
Benjamin Patrick Bayer
Bella Delex Kay
Benjamin Patrick Bayer
Application Number:
JP2015542745A
Publication Date:
December 21, 2015
Filing Date:
November 13, 2013
Export Citation:
Assignee:
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INCORPORATED
International Classes:
B01F23/00; B01F25/60; B01F25/64; G01N1/00
Domestic Patent References:
| JP2005294351A | 2005-10-20 | |||
| JP2003071720A | 2003-03-12 | |||
| JPH11207604A | 1999-08-03 | |||
| JP2002016029A | 2002-01-18 | |||
| JP2000218107A | 2000-08-08 | |||
| JP2004207422A | 2004-07-22 | |||
| JP2011506110A | 2011-03-03 | |||
| JP2000117635A | 2000-04-25 | |||
| JP2000233372A | 2000-08-29 | |||
| JP2002113661A | 2002-04-16 |
Foreign References:
| WO2004113023A1 | 2004-12-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Atsushi Aoki
Takashi Ishida
Tetsuji Koga
Yoshihiro Kobayashi
Atsushi Ebiya
Takashi Ishida
Tetsuji Koga
Yoshihiro Kobayashi
Atsushi Ebiya