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Title:
小型近接合焦イメージセンサ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023527314
Kind Code:
A
Abstract:
イメージセンサは、フォトカソード窓組立体、アノード組立体、及び展性金属シールを有する。フォトカソード窓組立体はフォトカソード層を有する。アノード組立体は、電子感応面を有するシリコン基板を含む。展性金属シールは、フォトカソード窓組立体及びシリコン基板を互いに接合する。真空ギャップがフォトカソード層を電子感応面から隔てる。第１の電気接続及び第２の電気接続は、電子感応面に対してフォトカソード層を電圧バイアスするためのものである。

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Inventors:
Costello, Kenneth
Roderick, Kevin
Aabi, Werle
Application Number:
JP2022571269A
Publication Date:
June 28, 2023
Filing Date:
May 24, 2021
Export Citation:
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Assignee:
EOTECH,LLC
International Classes:
H01J40/16; H01J40/12; H01L27/146; H01L27/148
Attorney, Agent or Firm:
Michiharu Soga
Jun Kajinami
Keisuke Nakao



 
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