Title:
標本形状測定方法及び標本形状測定装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2017119118
Kind Code:
A1
Abstract:
標本形状測定方法は、所定の照明領域を通過する照明光を準備するステップＳ１０と、照明光を標本に照射するステップＳ２０と、所定の処理ステップＳ３０と、を有し、所定の照明領域は、照明光学系の瞳位置にて光軸を含まないように設定されると共に、照明光が観察光学系の瞳位置にて該瞳の内側の一部分と該瞳の外側に照射されるように設定され、所定の照明領域に入射する照明光の光強度は中央と周辺とで異なり、照明光は標本を透過し、標本から出射した光は観察光学系に入射し、所定の処理ステップＳ３０は、観察光学系から出射した光を受光するステップＳ３１と、受光した光の光量を求めるステップＳ３２と、光量と基準の光量との差又は比を算出するステップＳ３３と、差又は比から、標本の表面における傾き量を算出するステップＳ３４と、を有する。
Inventors:
Mayumi Ohira
Yoshimasa Suzuki
Kazuo Kajitani
Kotobuki
Yoshimasa Suzuki
Kazuo Kajitani
Kotobuki
Application Number:
JP2017560005A
Publication Date:
November 01, 2018
Filing Date:
January 08, 2016
Export Citation:
Assignee:
Olympus Endo Technology America Inc.
International Classes:
G01B11/24; G01B11/26
Domestic Patent References:
| JP2009168582A | 2009-07-30 | |||
| JP2004163129A | 2004-06-10 | |||
| JP2004109348A | 2004-04-08 | |||
| JP2005208027A | 2005-08-04 | |||
| JP2009008643A | 2009-01-15 |
Attorney, Agent or Firm:
Keisuke Saito