Title:
基板処理装置および導電性配管劣化度合い判定方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024009134
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】導電性配管の導電性の劣化を容易に精度良く検出する。【解決手段】基板処理装置は、基板保持部と、ノズル部と、ノズル部に処理液を供給する導電性の配管と、導電性の配管を基準電位に接続するグラウンドラインと、基板保持部の周囲に設けられ、ノズル部から吐出された液体を受ける液受け部と、導電性の配管の導電性の劣化度合いを測定するための劣化度合い測定部を備え、劣化度合い測定部は、導電性の配管に測定用液体を供給して、ノズル部から測定用液体を吐出させる測定用液体供給部と、液受け部の接液面と基準電位との間に電位差を与える電位差付与部と、測定用液体がノズル部から液受け部に吐出されているときに、液受け部の接液面と前記グラウンドラインとの間に測定用液体を介して確立された電荷移動経路を流れる電流の電流値を測定する電流計とを有する。【選択図】図２
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Inventors:
Tadashi Iino
Application Number:
JP2023196749A
Publication Date:
January 19, 2024
Filing Date:
November 20, 2023
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Manabu Miyajima
Hideyuki Mori
Hideyuki Mori