Title:
ハンドプローブを備える吸込み式ガスリーク検知器
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023513730
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】手持ち式吸込みプローブと固体半導体ガスセンサとを備える、精度が向上したガスリーク検知器を提供する。【解決手段】ガスリーク検知器は、手持ち式吸込みプローブ３０と、真空ポンプ３６と、吸込みプローブ３０と真空ポンプ３６とを接続するガス導通ライン４４と、固体半導体ガスセンサ４６と、を備える。ガス導通ライン４４のう第１部位５４は、センサ４６から吸込みプローブ３０まで延び、第２部位５２は、ガスセンサ４６から真空ポンプ３６まで延びている。吸込みプローブ３０は、ガス導通ライン４４への吸込口４０を形成するオリフィスを具備している。ガス導通ライン４４の第２部位５２は、ガスセンサ４６と真空ポンプ３６の低圧吸入口４２を接続する一方で、真空ポンプ３６の吐出口５６は外気に繋がっている。ガスセンサ４６は、真空ポンプ３６の位置に、第１部位５４が第２部位５２よりも長くなるように配置されている。【選択図】図２
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Inventors:
Edvardson Niclas
Application Number:
JP2022548816A
Publication Date:
April 03, 2023
Filing Date:
January 18, 2021
Export Citation:
Assignee:
Inficon GmbH
International Classes:
G01N27/12
Attorney, Agent or Firm:
Shuji Sugimoto
Takeo Tsutsumi
Yuka Kobayashi
Daisuke Kaneko
Kenichi Nakata
Hiroki Taniguchi
Shinji Nakao
Takashi Sasanuma
Yuko Fujiwara
Kogo Aki
Takeo Tsutsumi
Yuka Kobayashi
Daisuke Kaneko
Kenichi Nakata
Hiroki Taniguchi
Shinji Nakao
Takashi Sasanuma
Yuko Fujiwara
Kogo Aki