Title:
スイッチモードバイアスシステムを使用した表面電荷および電力フィードバックならびに制御
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023525768
Kind Code:
A
Abstract:
プラズマチャンバ内のイオンエネルギーを調整し、基板表面上および表面上に構築されている容量性構造内への過剰かつ損傷を及ぼす電荷集積を回避するためのシステム、方法、および装置。例示的方法は、基板をプラズマチャンバ内に設置することと、プラズマをプラズマチャンバ内に形成することと、周期的電圧関数（または修正された周期的電圧関数）を基板に印加するように、基板への電力を制御可能に切り替えることと、基板の表面におけるイオンのエネルギーの定義された分布に応答して、時間平均ベースで、イオンエネルギーの定義された分布をもたらし、表面電荷集積を閾値を下回るように維持するように、周期的電圧関数の複数のサイクルにわたって、周期的電圧関数を変調することとを含む。
Inventors:
Carter, Daniel
Application Number:
JP2022568414A
Publication Date:
June 19, 2023
Filing Date:
April 19, 2021
Export Citation:
Assignee:
AES Global Holdings, Private Limited
International Classes:
H05H1/46; C23C16/44; C23C16/50; H01L21/3065; H01L21/31
Attorney, Agent or Firm:
Shusaku Yamamoto
Natsuki Morishita
Takatoshi Iida
Daisuke Ishikawa
Kensaku Yamamoto
Natsuki Morishita
Takatoshi Iida
Daisuke Ishikawa
Kensaku Yamamoto
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