Title:
表面性状判定方法および表面性状判定システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024014487
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】本発明は、研磨パッドの表面性状を適切に判定することができる研磨パッドの表面性状判定方法および表面性状判定システムを提供する。【解決手段】表面性状判定方法は、研磨パッド２を研磨テーブル３で支持した状態で、研磨テーブル３を研磨パッド２とともに回転させ、表面データ生成装置４１により、研磨パッド２の表面性状を表す複数の形状指標値を含む表面データを生成し、表面データに基づいて、複数の形状指標値の分布を示すヒストグラムを作成し、ヒストグラムに基づいて研磨パッド２の表面性状を判定する。【選択図】図１６
Inventors:
Toshifumi Kaneba
Kohei Oshima
Kohei Oshima
Application Number:
JP2022117344A
Publication Date:
February 01, 2024
Filing Date:
July 22, 2022
Export Citation:
Assignee:
Ebara Corporation
International Classes:
B24B53/00; B24B37/00; B24B37/20; B24B49/12; B24B49/18; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Tetsuya Hirosawa
Isamu Watanabe
Goto Manabu
Mitsuhiro Kanazawa
Isamu Watanabe
Goto Manabu
Mitsuhiro Kanazawa