Title:
合成砥石、合成砥石アセンブリ、及び、合成砥石の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7258385
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】 例えば乾式の研磨加工を行う際などに、摩擦熱が過大となることを抑制可能な合成砥石を提供すること。【解決手段】 表面加工を行うための合成砥石は、砥粒率（Ｖｇ）が、０体積％より大きく、４０体積％以下の、砥粒と、結合剤率（Ｖｂ）が、３５体積％以上で、９０体積％以下である、不織布製の結合剤と、を含む。そして、合成砥石の気孔率（Ｖｐ）は、１０体積％以上で、５５体積％以下である。【選択図】 図３
Inventors:
Kyojima Kai
Ken Yagi
Ken Yagi
Application Number:
JP2022138397A
Publication Date:
April 17, 2023
Filing Date:
August 31, 2022
Export Citation:
Assignee:
Tokyo Diamond Tool Manufacturing Co., Ltd.
International Classes:
B24D3/00; B24D3/32; B24D3/02; H01L21/304
Domestic Patent References:
| JP2005103647A | ||||
| JP2008030194A | ||||
| JP2008137126A | ||||
| JP2006320992A | ||||
| JP2021003795A | ||||
| JP2017226057A | ||||
| JP2010105060A | ||||
| JP2017047499A | ||||
| JP2000190232A | ||||
| JP2009034817A |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Suzue Patent General Office
Masatoshi Kurata
Tadashi Inoue
Naoki Kono
Shigeru Iino
Sanae Kaneko
Masatoshi Kurata
Tadashi Inoue
Naoki Kono
Shigeru Iino
Sanae Kaneko
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