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Title:
THERMAL TREATMENT APPARATUS AND THERMAL TREATMENT METHOD
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016125784
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】プレートの全体的な温度を高い信頼性で測定可能な熱処理装置および熱処理方法を提供する。【解決手段】上部プレート21、下部プレート22および熱処理部23によりプレート部20が構成される。温度に応じて変化する特性値を有する複数の温度検出素子51が下部プレート22の複数の位置にそれぞれ設けられる。基板Wが載置された上部プレート21が熱処理部23により加熱または冷却される。プレート部20の複数の位置の温度に応じて複数の温度検出素子51の特性値がそれぞれ変化する。複数の温度検出素子51の特性値に基づいて、プレート部20の複数の位置の温度により定まる代表温度が取得される。【選択図】図1

Inventors:
NISHI KOJI
GOTO SHIGEHIRO
KADOMA TORU
Application Number:
JP2015001347A
Publication Date:
July 11, 2016
Filing Date:
January 07, 2015
Export Citation:
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Assignee:
SCREEN HOLDINGS CO LTD
International Classes:
F27D19/00; F27B5/18; F27D11/02; G01K1/14; H05B3/00
Attorney, Agent or Firm:
福島 祥人
澤村 英幸



 
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