蒸着処理装置 - 株式会社豊田中央研究所

Title:

蒸着処理装置

Document Type and Number:

Japanese Patent JP5647535

Kind Code:

B2

Inventors:

金子裕治
高尾尚史
平岡基記
金田敬右
柏本登
木野寛之

Application Number:

JP2011029447A

Publication Date:

December 24, 2014

Filing Date:

February 15, 2011

Export Citation:

Assignee:

株式会社豊田中央研究所
トヨタ自動車株式会社
神港精機株式会社

International Classes:

C23C14/24

Attorney, Agent or Firm:

Morioka Right 往
Patent business corporation SANSUI international patent firm

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