Title:
蒸着マスク、蒸着方法及び有機EL表示装置の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6410999
Kind Code:
B1
Abstract:
蒸着マスクのフレームでの熱伝導を抑制し、かつ、重量を軽くすることによって、蒸着マスクの大形化を図り、高精細な蒸着を安価に行うことができる蒸着マスクを得るため、実施形態により開示される蒸着マスクは、マスク本体(10)を貼り付けるフレーム(15)が、コア部(151)の少なくとも一部の対向する面に面板(152)が貼り付けられたサンドイッチ構造体(150)に形成されている。
More Like This:
Inventors:
Katsuhiko Kishimoto
Application Number:
JP2018528079A
Publication Date:
October 24, 2018
Filing Date:
December 25, 2017
Export Citation:
Assignee:
Sakai Display Products Co., Ltd.
International Classes:
C23C14/04; G09F9/00; G09F9/30; H01L27/32; H01L51/50; H05B33/10
Domestic Patent References:
JP2006322015A | 2006-11-30 | |||
JP2010524241A | 2010-07-15 | |||
JP2017014582A | 2017-01-19 | |||
JP2011516736A | 2011-05-26 |
Attorney, Agent or Firm:
Asahina Patent Office
Previous Patent: 半導体モジュール、半導体モジュールの製造方法および電力変換装置
Next Patent: CONTROLLED SERUM CONTAINING HUMAN ENZYME AND PRODUCTION THEROF
Next Patent: CONTROLLED SERUM CONTAINING HUMAN ENZYME AND PRODUCTION THEROF