Title:
薄膜の測定方法と薄膜の測定装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3994543
Kind Code:
B2
Inventors:
Yoshihiro Kudo
Liu Kosuke
Kawato Seiji
Liu Kosuke
Kawato Seiji
Application Number:
JP25678398A
Publication Date:
October 24, 2007
Filing Date:
September 10, 1998
Export Citation:
Assignee:
ソニー株式会社
International Classes:
G01B15/00; G01N23/207
Domestic Patent References:
| JP10206354A | ||||
| JP3146846A | ||||
| JP1148948A | ||||
| JP2107952A |
Other References:
劉光佑,他3名,“X線反射率法を用いた薄膜物性測定における表面被覆膜形成による感度向上”,第11回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム,1998年 1月 9日,p.38
Attorney, Agent or Firm:
Takahisa Sato