Title:
分光器におけるチルト補正方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2012056776
Kind Code:
A1
Abstract:
分光測定前の粗調工程では、移動鏡を移動させ（＃１１）、移動鏡での反射光と固定鏡での反射光との干渉光を４分割センサで受光したときの各分割素子の出力を合算して、干渉光のコントラストの変化を検出するとともに（＃１２）、そのコントラストの変化に基づいて、両反射光の相対的なチルト量を検知して（＃１３）、初期のチルト誤差を補正する（＃１４）。一方、分光測定前の微調工程では、両反射光の干渉光を４分割センサで受光したときの各分割素子の出力の位相差に基づいて、両反射光の相対的なチルト量およびチルト方向を検知して初期のチルト誤差を補正する。
Inventors:
Yoshihiro Hara
Application Number:
JP2012540713A
Publication Date:
March 20, 2014
Filing Date:
July 26, 2011
Export Citation:
Assignee:
Konica Minolta Co., Ltd.
International Classes:
G01J9/02; G01J3/45
Attorney, Agent or Firm:
Shizuo Sano
Inoue On
Inoue Yasushi
Inoue On
Inoue Yasushi