【発明の名称】処理装置 - 東京エレクトロン株式会社

Title:

【発明の名称】処理装置

Document Type and Number:

Japanese Patent JP3340147

Kind Code:

B2

Inventors:

Katsuhiko Iwabuchi
Takeo Suzuki

Application Number:

JP5952692A

Publication Date:

November 05, 2002

Filing Date:

February 13, 1992

Export Citation:

Assignee:

東京エレクトロン株式会社
株式会社安川電機

International Classes:

B25J21/00; C23C14/56; H01L21/205; H01L21/22; H01L21/31; (IPC1-7): H01L21/205; C23C14/56; H01L21/31

Domestic Patent References:

Attorney, Agent or Firm:

Hajime Inoue (2 outside)

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