【発明の名称】処理装置 - 東京エレクトロン株式会社

Title:

【発明の名称】処理装置

Document Type and Number:

Japanese Patent JP3372585

Kind Code:

B2

Inventors:

Hiroyuki Iwai
Tamotsu Tanifuji

Application Number:

JP8633993A

Publication Date:

February 04, 2003

Filing Date:

April 13, 1993

Export Citation:

Assignee:

東京エレクトロン株式会社

International Classes:

H01L21/02; B65G49/00; H01L21/22; H01L21/673; H01L21/68; (IPC1-7): H01L21/68; B65G49/00; H01L21/02; H01L21/22

Domestic Patent References:

Attorney, Agent or Firm:

Takehiko Suzue (5 outside)

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