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Title:
超音速回転可能羽根なし気体衝突面を有する非密閉型真空ポンプ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023515701
Kind Code:
A
Abstract:
真空ポンプは、一般に、気体不透過性隔壁によって分離された低圧部及び高圧部を備える。気体分子は、隔壁内の開口部を通って低圧部から出て、高圧部内の特徴のない回転可能面に受動的に衝突する。駆動装置は、衝突する気体分子の最も可能性の高い速度の複数倍で超音速範囲の接線速度で回転可能面を回転させる。衝突する気体分子は、回転可能面の周縁から外向きに放出され、気体の実質的な正味の外向きの流れを生成し、低圧部の圧力を低下させる。真空ポンプは、気体分子が低圧部に逆漏れするのを防ぐためにシールを使用することなく、また気体分子に能動的に影響を与えるためにブレード又はベーンを使用することなく、低圧部の圧力を目標の最小圧力まで低下させるのに有効である。

Inventors:
CHIU, KIN-CHUNG RAY
Application Number:
JP2022563005A
Publication Date:
April 13, 2023
Filing Date:
April 07, 2021
Export Citation:
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Assignee:
CHIU, KIN-CHUNG RAY
International Classes:
F04D17/16; F01D1/34; F01D1/36; F04D17/18; F04D21/00
Domestic Patent References:
JPS5267810A1977-06-04
JPS5228012A1977-03-02
Foreign References:
US20190195242A12019-06-27
FR439542A1912-06-15
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Fukami Patent Office



 
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