Title:
減圧乾燥装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024008110
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】塗布膜に対する乾燥ムラの発生を抑制する技術を提供する。【解決手段】減圧乾燥装置１はチャンバ１０と複数の支持ピン２２と排気部３０とを備える。チャンバ１０は基板９を収容する。複数の支持ピン２２はチャンバ１０内において基板９を下方から支持する。排気部３０はチャンバ１０内の気体を排出する。複数の支持ピン２２は、１つ以上の第１支持ピン２２ａと、第１支持ピン２２ａよりも細い１つ以上の第２支持ピン２２ｂとを含む。第１支持ピン２２ａのうちの少なくとも一つは、基板９のうちの周縁領域を下方から支持する。第２支持ピン２２ｂのうちの少なくとも一つは、基板９の周縁領域よりも内側の内側領域のうち、塗布膜が形成された領域を下方から支持する。【選択図】図３
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Inventors:
Shoya Kitamura
Application Number:
JP2022109686A
Publication Date:
January 19, 2024
Filing Date:
July 07, 2022
Export Citation:
Assignee:
Screen Holdings Co., Ltd.
International Classes:
F26B5/04
Attorney, Agent or Firm:
Hidetoshi Yoshitake
Takahiro Arita
Takahiro Arita