Title:
減圧乾燥装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024024153
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】塗布膜に対する乾燥ムラの発生を抑制する技術を提供する。【解決手段】減圧乾燥装置１は、チャンバ１０と、ピン当接部の一例である支持ピン２２と、幅広部の一例である支持プレート２１と、幅狭部の一例である駆動軸２３と、排気部とを備える。チャンバ１０は基板９を収容する。支持プレート２１はチャンバ１０内に設けられ、下方の幅に比べて上方の幅が広い部分を含む。支持ピン２２は支持プレート２１から上方に延びており、基板９の下面に当接する。駆動軸２３は支持プレート２１から下方に延びており、支持プレート２１よりも幅が狭い。排気部はチャンバ１０内の気体を排出する。【選択図】図６
Inventors:
Shoya Kitamura
Yukihiro Takamura
Yumi Takeichi
Yukihiro Takamura
Yumi Takeichi
Application Number:
JP2022126776A
Publication Date:
February 22, 2024
Filing Date:
August 09, 2022
Export Citation:
Assignee:
Screen Holdings Co., Ltd.
International Classes:
F26B5/04; F26B9/06; H01L21/304; H01L21/683
Attorney, Agent or Firm:
Hidetoshi Yoshitake
Takahiro Arita
Takahiro Arita