Title:
真空ポンプ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015535572
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、多段真空ポンプであって、複数個のポンプ輸送チャンバ（１０６）〜（１１６）を画定していて、それぞれの長手方向に延びるフェース（（１１８），（１２０）に沿って互いに組み立て可能な第１及び第２のハーフシェル形ステータコンポーネント（１０２，１０４）と、第１及び第２のハーフシェル形ステータコンポーネントのそれぞれの端フェース（１２６），（１２８）のところで組み立て可能な第１及び第２の端ステータコンポーネント（１２２，１２４）と、長手方向に延びるフェースのところで相互に組み立てられたときに第１のハーフシェル形ステータコンポーネントと第２のハーフシェル形ステータコンポーネントとの間を封止するガスケット（２８）と、組み立て時に第１及び第２の端ステータコンポーネントと第１及び第２のハーフシェル形ステータコンポーネントとの間を封止するＯリング（５４）とを有し、環状チャネル（２２）は、長手方向凹部（１４）と交差し、各長手方向凹部は、交差部に対して固定された停止部（２４）を有し、ガスケット及び長手方向凹部は、ガスケットが組み立ての際に凹部内に配置されると、ガスケットの端部分（３４）を交差部に対して位置決めするためにガスケットが停止部に押し付けられるよう構成されていることを特徴とする多段真空ポンプに関する。
Inventors:
Kila Sam Shiva Balun
Holbrook Alan Ernest Kinnard
Holbrook Alan Ernest Kinnard
Application Number:
JP2015544526A
Publication Date:
December 14, 2015
Filing Date:
October 24, 2013
Export Citation:
Assignee:
Edwards Limited
International Classes:
F04C25/02; F04C23/00; F04C27/00; F04C29/00
Domestic Patent References:
| JP2004507641A | 2004-03-11 |
Foreign References:
| WO2012127198A2 | 2012-09-27 |
Attorney, Agent or Firm:
Koichi Tsujii
Sadao Kumakura
Disciple Maru Ken
Ino Sato
Mitsuru Matsushita
Ichiro Kurasawa
Ryohei Yoshino
Sadao Kumakura
Disciple Maru Ken
Ino Sato
Mitsuru Matsushita
Ichiro Kurasawa
Ryohei Yoshino