Title:
真空蒸気処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2008032666
Kind Code:
A1
Abstract:
蒸発させた金属原子の被処理物への供給量が調節でき、簡単な構造を有する真空蒸気処理装置を提供する。所定圧力に保持可能な真空チャンバ１２と、この真空チャンバ内に隔絶して設けられた相互に連通する処理容器２及び蒸発容器３と、この処理容器Ｓに被処理物を配置すると共に蒸発容器に金属蒸発材料Ｖを配置した状態で処理容器及び蒸発容器の加熱を可能とする加熱手段６ａ、６ｂとを備える。そして、加熱手段によって処理容器及び蒸発容器をそれぞれ加熱して被処理物を所定温度まで昇温させつつ金属蒸発材料を蒸発させ、この蒸発した金属原子が処理容器内の被処理物表面に供給されるように構成する。
Inventors:
Hiroshi Nagata
Araigaki Yoshinori
Araigaki Yoshinori
Application Number:
JP2008534322A
Publication Date:
January 28, 2010
Filing Date:
September 10, 2007
Export Citation:
Assignee:
ULVAC, Inc.
International Classes:
C23C14/24; C23C10/00; C23C10/28; H01F41/02
Domestic Patent References:
| JPH1036183A | 1998-02-10 | |||
| JPS6274048A | 1987-04-04 | |||
| JPS6211170U | 1987-01-23 |
Attorney, Agent or Firm:
Seiryu Corporation
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