Title:
真空バルブ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017512285
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、真空バルブ（１）であって、真空バルブ（１）の第１の構成部材（１０）を第２の構成部材（１１）に機械的に連結して結合するねじ要素（９ａ；９ｂ）を備える真空バルブ（１）に関する。ねじ要素（９ａ；９ｂ）は、力伝達表面区分（１８）を、第１のねじ山（１４ａ；１４ｂ）を有するねじ山表面区分（１２）と、第１のガス領域（５）内に配置される、工具（１７）用の係合表面区分（１５）との間に有している。第１の構成部材（１０）と第２の構成部材（１１）とは、第１のねじ山（１４ａ；１４ｂ）と、第２の構成部材（１１）に配設される第２のねじ山（２１ａ；２１ｂ）との間の、第１の構成部材（１１）の貫通穴（２０）を通して実施されるねじ山を介した係合により形状結合式に機械的に連結可能である。ねじ要素（９ａ；９ｂ）は、シール表面区分（２４）をねじ山表面区分（１２）と係合表面区分（１５）との間に有している。シール表面区分（２４）と、第１の構成部材（１０）のシール面（２５）との間には、密封作用を奏するシール要素（２６ａ；２６ｂ）が配置されており、第１のガス領域（５）は、ねじ山表面区分（１２）が配置されている第３のガス領域（２７）から、ガス密封作用又は粒子密封作用をもって仕切られている。
Inventors:
Cedric Wagne
Karl Heinz Zumer
Hanspeter Frener
Michael zicker
Karl Heinz Zumer
Hanspeter Frener
Michael zicker
Application Number:
JP2016554496A
Publication Date:
May 18, 2017
Filing Date:
February 06, 2015
Export Citation:
Assignee:
Bat holding arg
International Classes:
F16K3/314; F16J15/10; F16K51/02
Domestic Patent References:
| JP2011506774A | 2011-03-03 | |||
| JPH1061634A | 1998-03-06 | |||
| JPH1047327A | 1998-02-17 | |||
| JP2011157989A | 2011-08-18 | |||
| JP2006322469A | 2006-11-30 | |||
| JP2013518224A | 2013-05-20 |
Foreign References:
| US20130034403A1 | 2013-02-07 |
Attorney, Agent or Firm:
Einzel Felix-Reinhard
Junichi Maekawa
Hiroyasu Ninomiya
Ueshima
Junichi Maekawa
Hiroyasu Ninomiya
Ueshima