Title:
バルブおよびバルブを備える流体制御装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2019208016
Kind Code:
A1
Abstract:
バルブは、第１通気孔を形成する第１の板と、第１通気孔に通じるバルブ室を第１の板との間に構成し、バルブ室に通じ第１通気孔とは対向しない第２通気孔を形成する第２の板と、第２通気孔に対向する第３通気孔を形成し、第１の板および第２の板の間で移動可能にバルブ室に設けられた可動板と、を備え、第２の板は、可動板の第３通気孔に対向しない補助孔を形成し、かつ、バルブ室に面する側の主面に対する正面視で、補助孔を囲む縁部が凸Ｒ形状の第１角部を形成する。
Inventors:
Hiroyuki Yokoi
Shin Tanaka
Daisuke Kondo
Shin Tanaka
Daisuke Kondo
Application Number:
JP2020516099A
Publication Date:
February 25, 2021
Filing Date:
March 15, 2019
Export Citation:
Assignee:
MURATA MANUFACTURING CO.,LTD.
International Classes:
F16K1/00; F04B45/04; F04B45/047; F16K15/02; F16K31/02
Domestic Patent References:
| JPS59122789A | 1984-07-16 | |||
| JPH0472479A | 1992-03-06 | |||
| JP2006522896A | 2006-10-05 | |||
| JP2007509291A | 2007-04-12 | |||
| JPS5615474U | 1981-02-10 |
Foreign References:
| WO2016121717A1 | 2016-08-04 | |||
| WO2005038321A1 | 2005-04-28 |
Attorney, Agent or Firm:
Norihito Yamao
Hiroshi Okabe
Yuzo Yamada
Hiroshi Okabe
Yuzo Yamada