蒸着装置 - Samsung Display Co.,Ltd.

Title:

蒸着装置

Document Type and Number:

Japanese Patent JP2024008884

Kind Code:

A

Abstract:

【課題】サイズが大きな基板に対応可能な原子層蒸着装置を提供する。【解決手段】蒸着装置は、ガス供給部１００、プレート２００、本体部３００及び第１の排気部４００を含む。ガス供給部は、複数のガス噴射口ＧＨを含む。プレートは、ガス供給部と対向して配置され、ガス供給部に向けて上下動することができ、対象基板ＳＵＢが載置される。本体部は、プレートとガス供給部の間の反応空間を定義する第１の部分ＰＡ１及び第１の部分の下に配置された第２の部分ＰＡ２を含み、プレートと離隔して内壁が形成される。第１の排気部は、第１の部分の外壁に具備される。【選択図】図１ａ

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Inventors:

Jang, Chulmin
Kim, jungon
Ho, Myung Soo

Application Number:

JP2023109626A

Publication Date:

January 19, 2024

Filing Date:

July 03, 2023

Export Citation:

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Assignee:

Samsung Display Co.,Ltd.

International Classes:

C23C16/44; C23C16/455; H01L21/31

Attorney, Agent or Firm:

Patent Attorney Corporation PORT

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