Title:
通気ウエハカセット
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3238389
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】ウエハカセットの変形を防止する通気ウエハカセットを提供する。【解決手段】通気ウエハカセット１００は、上箱１０１と、下箱１０３と、内箱１０２とを備え、前記上箱が前記下箱に嵌合されて前記内箱が配置される中空構造を形成する。前記中空構造と外部環境とを接続する少なくとも１つの通気路が、前記上箱内、前記下箱内、または前記上箱と前記下箱の間の接続部に設けられている。本願の通気ウエハカセットによれば、半導体ウエハに実行されるガス保護処理中のガス交換を確実に行うことができ、それにより圧力差によるウエハカセットの変形を防止することができる。好ましくは、通気路の内部には、防塵ラビリンス構造が設けられており、それにより通気路内への塵埃の侵入を防止する。【選択図】図１
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Inventors:
Gao, Way
Application Number:
JP2022001685U
Publication Date:
July 21, 2022
Filing Date:
May 23, 2022
Export Citation:
Assignee:
Beijing Tonmei Crystal Technology Company Limited
International Classes:
B65D81/20; B65D85/30; H01L21/673
Attorney, Agent or Firm:
Longhua International Patent Service Corporation