Title:
振動制御装置、振動制御方法、露光装置、及びデバイス製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2010128597
Kind Code:
A1
Abstract:
振動制御装置は、加振された構造体の振動を抑制する。振動制御装置は、構造体を支持し、所定の振動方向に関する第１振幅以下の振動の構造体への伝達を抑制する防振装置（２２）と、振動方向に関して第１振幅より大きな第２振幅で加振された構造体の振動を第１振幅以下の振動に減衰させる振動減衰装置（２６）とを備えている。
Inventors:
Nishino Hideaki
White number Hiro
White number Hiro
Application Number:
JP2011512312A
Publication Date:
November 01, 2012
Filing Date:
May 07, 2010
Export Citation:
Assignee:
NIKON CORPORATION
International Classes:
G05D19/02; F16F15/02; F16F15/04; H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
Masatake Shiga
Tadashi Takahashi
Kazuya Nishi
Tadashi Takahashi
Kazuya Nishi