Title:
ウエハ生成装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024027232
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】簡単な構成の装置により、ウエハを生成できるようにする。【解決手段】インゴット保持手段２により保持されたインゴット３の上端面に吸着した吸着手段４に対し、衝撃印加手段衝５ａ，５ｂによる衝撃力を剥離面９に平行な方向に数回にわたって連続的に印加することにより、剥離面９の多数の剥離容易領域を拡大させ、検出手段６によりインゴット３の上端面付近が剥離したことを検出してウエハを生成する。【選択図】図１
Inventors:
Tomoaki Kunigara
Gao Yang
Shogo Takehara
Gao Yang
Shogo Takehara
Application Number:
JP2022129861A
Publication Date:
March 01, 2024
Filing Date:
August 17, 2022
Export Citation:
Assignee:
AC-X Tech Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/304; B28D5/04
Attorney, Agent or Firm:
Yuji Yanase
Kouichi Kimura
Yosuke Maruyama
Kouichi Kimura
Yosuke Maruyama