Title:
ウェハ搬送装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024020815
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】研磨ステージに対するウェハの搬送精度を高める。【解決手段】ウェハ搬送装置は、第１アクチュエータによって第１方向に駆動される第１スライダと、第２アクチュエータによって前記第１方向に交差する第２方向に駆動される第２スライダと、を有する。前記ウェハ搬送装置は、前記第２スライダに取り付けられ、研磨ステージに搬送されるウェハを把持する搬送ハンドを有する。前記ウェハ搬送装置は、前記第１アクチュエータを制御することにより、前記搬送ハンドを前記第１方向に目標距離で移動させ、前記ウェハを前記研磨ステージに搬送する制御システムを有する。前記ウェハ搬送装置は、前記制御システムに通信可能に接続され、前記研磨ステージに搬送された前記ウェハの外縁データを測定する測定機器を有する。【選択図】図１０
Inventors:
Hiroyuki Ito
Ryunosuke Kawahara
Ryunosuke Kawahara
Application Number:
JP2022123282A
Publication Date:
February 15, 2024
Filing Date:
August 02, 2022
Export Citation:
Assignee:
Bbs Kinmei Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/677; B24B41/06; B24B49/12; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Tsutsui International Patent Office