Title:
波面計測装置、波面計測方法及び移動体観測装置、移動体観測方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6494885
Kind Code:
B1
Abstract:
波面推定部（２８）が、光検出器（２７）により検出された複数の集光スポット像の位置から、結像光学系（１１）の開口における光束の波面の概算値を算出し、概算値を用いて、複数の集光スポット像の点像強度分布を算出し、点像強度分布と複数の集光スポット像とから波面を推定するように、波面計測装置（３）を構成した。
Inventors:
Takao Endo
Toshiyuki Ando
Takanezawa Takane
Yutaka Esaki
Toshiyuki Ando
Takanezawa Takane
Yutaka Esaki
Application Number:
JP2018552262A
Publication Date:
April 03, 2019
Filing Date:
May 18, 2018
Export Citation:
Assignee:
Mitsubishi Electric Corporation
International Classes:
G01J9/00; B64G3/00
Domestic Patent References:
| JP2015055544A | 2015-03-23 |
Attorney, Agent or Firm:
Hideaki Tazawa
Hamada Hatsune
Nakashima Shigeru
Tatsuya Sakamoto
Tsujioka Masaaki
Kazuma Inoue
Hamada Hatsune
Nakashima Shigeru
Tatsuya Sakamoto
Tsujioka Masaaki
Kazuma Inoue