Title:
ウエブ搬送装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7355427
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】 ウエブを低張力で搬送しつつ、液切りを確実に行うことができるウエブ搬送装置を提供する。【解決手段】 処理槽６０に貯留される処理液６１の液面下に帯状のウエブ５０を案内するガイドロール１０と、ガイドロール１０により案内されたウエブ５０を処理液から引き上げる引上ロール２０と、引上ロール２０により引き上げられたウエブ５０に付着する処理液の液切りを行う液切りロール３０とを備えるウエブ搬送装置１であって、液切りロール３０は、ウエブ５０との間に介在する処理液を収容して排水する複数の排水溝が外周面に形成されており、ウエブ５０との近接箇所における回転方向がウエブ５０の移動方向と逆方向である。【選択図】 図１
Inventors:
Yasuo Shimizu
Hiroaki Shimizu
Kenji Shimizu
Hiroaki Shimizu
Kenji Shimizu
Application Number:
JP2022209259A
Publication Date:
October 03, 2023
Filing Date:
December 27, 2022
Export Citation:
Assignee:
Wakamizu Giken Co., Ltd.
International Classes:
B65H27/00; B65H20/02; F16C13/00
Domestic Patent References:
| JP2018003066A | ||||
| JP2009174647A | ||||
| JP55107294A | ||||
| JP2012035961A | ||||
| JP2017020609A |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Arore International