Title:
成膜装置、成膜方法およびフィールドエミッションランプに用いるワイヤ状陰極
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4976677
Kind Code:
B2
Inventors:
Hirohisa Hiraki
Hirooki Wang
Haba Houki
Gangnam
Hirooki Wang
Haba Houki
Gangnam
Application Number:
JP2005289768A
Publication Date:
July 18, 2012
Filing Date:
October 03, 2005
Export Citation:
Assignee:
Purelon Japan Co., Ltd.
International Classes:
C23C16/26; H01J63/06
Domestic Patent References:
| JP1313311A | ||||
| JP2248345A | ||||
| JP2000256853A | ||||
| JP2000064047A | ||||
| JP2002276541A | ||||
| JP6280026A | ||||
| JP5195230A | ||||
| JP8337497A |
Other References:
平木博久, WANG H, JIANG N, 笹岡秀紀, 西村一仁,カーボンナノウォール(CNW)及びその電子放出型光源への応用,ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集,2003年11月26日,Vol.17th ,Page.158-159
Attorney, Agent or Firm:
Kazuhide Okada