Title:
ANTIFOULING TREATMENT COMPOSITION, TREATMENT APPARATUS, TREATMENT METHOD AND TREATED ARTICLE
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016199741
Kind Code:
A
Abstract:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a novel surface treatment agent, surface treatment method, and surface treatment apparatus, capable of forming a layer having higher alkali resistance.SOLUTION: The present invention provides: a surface treatment agent for nitrided surfaces, which contains a fluorine-containing compound that has, at an end of each molecule, a carbon-carbon unsaturated bond as a group represented by -Y-A (wherein Y represents a single bond, an oxygen atom or a divalent organic group; and A represents -CH=CHor -C≡CH).SELECTED DRAWING: Figure 1
Inventors:
ITAMI YASUO
FUSE SATOSHI
OKKOTSU MADOKA
KINOSHITA HIDETOSHI
FUKASAWA TATSUYA
FUSE SATOSHI
OKKOTSU MADOKA
KINOSHITA HIDETOSHI
FUKASAWA TATSUYA
Application Number:
JP2016075575A
Publication Date:
December 01, 2016
Filing Date:
April 05, 2016
Export Citation:
Assignee:
DAIKIN IND LTD
TOKYO ELECTRON LTD
TOKYO ELECTRON LTD
International Classes:
C09K3/18; C09D5/00; C09D5/16; C09D7/12; C09D171/00; C09D201/04
Domestic Patent References:
| JP2008503893A | 2008-02-07 |
Other References:
JPN6016025777; ＰＩＧＮＡＴＡＲＯ， Ｂ．， ｅｔ ａｌ．: 'Ａｄｈｅｓｉｏｎ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｎ ｎａｎｏｍｅｔｒｉｃ ｓｃａｌｅ ｏｆ ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｘｉｄｅ ａｎｄ ｓｉｌｉｃｏｎ ｎｉｔｒｉｄｅ ｓｕｒｆａｃｅｓ ｍｏｄｉｆｉｅｄ ｂｙ １-' Ｓｕｒｆａｃｅ ａｎｄ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ａｎａｌｙｓｉｓ Ｖｏｌ．３３， Ｎｏ．２, ｐ．５４-５８ （２００２）．
JPN6016025780; ＰＥＮＮＡＴＨＵＲ， Ｓｕｍｉｔａ， ｅｔ ａｌ．: 'Ｌｏｗ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ａｎｄ Ｓｕｒｆａｃｅ Ｍｏｄｉｆｉｃａｔｉｏｎ Ｍｅｔｈｏｄｓ ｆｏｒ Ｆｕｓｅｄ Ｓｉｌｉｃａ Ｍｉｃｒｏ- ａｎｄ Ｎａｎｏｃｈａｎｎｅｌ' Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｓｏｃｉｅｔｙ Ｓｙｍｏｓｉｕｍ Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ Ｖｏｌ．１６５９, ｐ．１５-２６ （２０１４）．
JPN6016025785; ＰＵＪＡＲＩ， ＳＩＤＨＡＲＡＭ Ｐ．， ｅｔ ａｌ．: 'Ｏｒｇａｎｉｃ Ｍｏｎｏｌａｙｅｒｓ ｆｒｏｍ １-Ａｌｋｙｎｅｓ Ｃｏｖａｌｅｎｔｌｙ Ａｔｔａｃｈｅｄ ｔｏ Ｃｈｒｏｍｉｕｍ Ｎｉｔｒｉｄｅ： Ａｌｋｙｌ ａｎｄ Ｆｌｕｏｒｏａｌｋｙｌ Ｔｅｒ' Ｌａｎｇｍｕｉｒ Ｖｏｌ．２９， Ｎｏ．３３, ｐ．１０３９３-１０４０４ （２０１３）．
JPN6016025765; ＡＲＡＦＡＴ， Ａｈｍｅｄ: 'Ｃｏｖａｌｅｎｔｌｙ-ｂｏｕｎｄ ｏｒｇａｎｉｃ ｍｏｎｏｌａｙｅｒｓ ｆｏｒ ｂｉｏｓｅｎｓｏｒ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ' Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｎａｎｏ ａｎｄ Ｂｉｏｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｖｏｌ．２， Ｎｏ．１／２／３／４／５, ｐ．２２-３０ （２００９）．
JPN6016025769; ＡＲＡＦＡＴ， Ａｈｍｅｄ， ｅｔ ａｌ．: 'Ｃｏｖａｌｅｎｔ Ｂｉｏｆｕｎｃｔｉｏｎａｌｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｎｉｔｒｉｄｅ Ｓｕｒｆａｃｅｓ' Ｌａｎｇｍｕｉｒ Ｖｏｌ．２３， Ｎｏ．１１, ｐ．６２３３-６２４４ （２００７）．
JPN6016025772; ＬＩＮＫＯＨＲ， Ｓｔｅｆａｎｉｅ， ｅｔ ａｌ．: 'Ａ ｎｏｖｅｌ ｂｉｏ-ｆｕｎｃｔｉｏｎａｌｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ ＡｌＧａＮ／ＧａＮ-ＩＳＦＥＴｓ ｆｏｒ ＤＮＡ-ｓｅｎｓｏｒｓ' Ｐｈｙｓｉｃａ Ｓｔａｔｕｓ Ｓｏｌｉｄｉ Ｃ： Ｃｕｒｒｅｎｔ Ｔｏｐｉｃｓ ｉｎ Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｖｏｌ．７， Ｎｏ．７-８, ｐ．１８１０-１８１３ （２０１０）．
JPN6016025777; ＰＩＧＮＡＴＡＲＯ， Ｂ．， ｅｔ ａｌ．: 'Ａｄｈｅｓｉｏｎ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｎ ｎａｎｏｍｅｔｒｉｃ ｓｃａｌｅ ｏｆ ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｘｉｄｅ ａｎｄ ｓｉｌｉｃｏｎ ｎｉｔｒｉｄｅ ｓｕｒｆａｃｅｓ ｍｏｄｉｆｉｅｄ ｂｙ １-' Ｓｕｒｆａｃｅ ａｎｄ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ａｎａｌｙｓｉｓ Ｖｏｌ．３３， Ｎｏ．２, ｐ．５４-５８ （２００２）．
JPN6016025780; ＰＥＮＮＡＴＨＵＲ， Ｓｕｍｉｔａ， ｅｔ ａｌ．: 'Ｌｏｗ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ａｎｄ Ｓｕｒｆａｃｅ Ｍｏｄｉｆｉｃａｔｉｏｎ Ｍｅｔｈｏｄｓ ｆｏｒ Ｆｕｓｅｄ Ｓｉｌｉｃａ Ｍｉｃｒｏ- ａｎｄ Ｎａｎｏｃｈａｎｎｅｌ' Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｓｏｃｉｅｔｙ Ｓｙｍｏｓｉｕｍ Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ Ｖｏｌ．１６５９, ｐ．１５-２６ （２０１４）．
JPN6016025785; ＰＵＪＡＲＩ， ＳＩＤＨＡＲＡＭ Ｐ．， ｅｔ ａｌ．: 'Ｏｒｇａｎｉｃ Ｍｏｎｏｌａｙｅｒｓ ｆｒｏｍ １-Ａｌｋｙｎｅｓ Ｃｏｖａｌｅｎｔｌｙ Ａｔｔａｃｈｅｄ ｔｏ Ｃｈｒｏｍｉｕｍ Ｎｉｔｒｉｄｅ： Ａｌｋｙｌ ａｎｄ Ｆｌｕｏｒｏａｌｋｙｌ Ｔｅｒ' Ｌａｎｇｍｕｉｒ Ｖｏｌ．２９， Ｎｏ．３３, ｐ．１０３９３-１０４０４ （２０１３）．
JPN6016025780; ＰＥＮＮＡＴＨＵＲ， Ｓｕｍｉｔａ， ｅｔ ａｌ．: 'Ｌｏｗ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ａｎｄ Ｓｕｒｆａｃｅ Ｍｏｄｉｆｉｃａｔｉｏｎ Ｍｅｔｈｏｄｓ ｆｏｒ Ｆｕｓｅｄ Ｓｉｌｉｃａ Ｍｉｃｒｏ- ａｎｄ Ｎａｎｏｃｈａｎｎｅｌ' Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｓｏｃｉｅｔｙ Ｓｙｍｏｓｉｕｍ Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ Ｖｏｌ．１６５９, ｐ．１５-２６ （２０１４）．
JPN6016025785; ＰＵＪＡＲＩ， ＳＩＤＨＡＲＡＭ Ｐ．， ｅｔ ａｌ．: 'Ｏｒｇａｎｉｃ Ｍｏｎｏｌａｙｅｒｓ ｆｒｏｍ １-Ａｌｋｙｎｅｓ Ｃｏｖａｌｅｎｔｌｙ Ａｔｔａｃｈｅｄ ｔｏ Ｃｈｒｏｍｉｕｍ Ｎｉｔｒｉｄｅ： Ａｌｋｙｌ ａｎｄ Ｆｌｕｏｒｏａｌｋｙｌ Ｔｅｒ' Ｌａｎｇｍｕｉｒ Ｖｏｌ．２９， Ｎｏ．３３, ｐ．１０３９３-１０４０４ （２０１３）．
JPN6016025765; ＡＲＡＦＡＴ， Ａｈｍｅｄ: 'Ｃｏｖａｌｅｎｔｌｙ-ｂｏｕｎｄ ｏｒｇａｎｉｃ ｍｏｎｏｌａｙｅｒｓ ｆｏｒ ｂｉｏｓｅｎｓｏｒ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ' Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｎａｎｏ ａｎｄ Ｂｉｏｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｖｏｌ．２， Ｎｏ．１／２／３／４／５, ｐ．２２-３０ （２００９）．
JPN6016025769; ＡＲＡＦＡＴ， Ａｈｍｅｄ， ｅｔ ａｌ．: 'Ｃｏｖａｌｅｎｔ Ｂｉｏｆｕｎｃｔｉｏｎａｌｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｎｉｔｒｉｄｅ Ｓｕｒｆａｃｅｓ' Ｌａｎｇｍｕｉｒ Ｖｏｌ．２３， Ｎｏ．１１, ｐ．６２３３-６２４４ （２００７）．
JPN6016025772; ＬＩＮＫＯＨＲ， Ｓｔｅｆａｎｉｅ， ｅｔ ａｌ．: 'Ａ ｎｏｖｅｌ ｂｉｏ-ｆｕｎｃｔｉｏｎａｌｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ ＡｌＧａＮ／ＧａＮ-ＩＳＦＥＴｓ ｆｏｒ ＤＮＡ-ｓｅｎｓｏｒｓ' Ｐｈｙｓｉｃａ Ｓｔａｔｕｓ Ｓｏｌｉｄｉ Ｃ： Ｃｕｒｒｅｎｔ Ｔｏｐｉｃｓ ｉｎ Ｓｏｌｉｄ Ｓｔａｔｅ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｖｏｌ．７， Ｎｏ．７-８, ｐ．１８１０-１８１３ （２０１０）．
JPN6016025777; ＰＩＧＮＡＴＡＲＯ， Ｂ．， ｅｔ ａｌ．: 'Ａｄｈｅｓｉｏｎ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｎ ｎａｎｏｍｅｔｒｉｃ ｓｃａｌｅ ｏｆ ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｘｉｄｅ ａｎｄ ｓｉｌｉｃｏｎ ｎｉｔｒｉｄｅ ｓｕｒｆａｃｅｓ ｍｏｄｉｆｉｅｄ ｂｙ １-' Ｓｕｒｆａｃｅ ａｎｄ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ａｎａｌｙｓｉｓ Ｖｏｌ．３３， Ｎｏ．２, ｐ．５４-５８ （２００２）．
JPN6016025780; ＰＥＮＮＡＴＨＵＲ， Ｓｕｍｉｔａ， ｅｔ ａｌ．: 'Ｌｏｗ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ ａｎｄ Ｓｕｒｆａｃｅ Ｍｏｄｉｆｉｃａｔｉｏｎ Ｍｅｔｈｏｄｓ ｆｏｒ Ｆｕｓｅｄ Ｓｉｌｉｃａ Ｍｉｃｒｏ- ａｎｄ Ｎａｎｏｃｈａｎｎｅｌ' Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｓｏｃｉｅｔｙ Ｓｙｍｏｓｉｕｍ Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ Ｖｏｌ．１６５９, ｐ．１５-２６ （２０１４）．
JPN6016025785; ＰＵＪＡＲＩ， ＳＩＤＨＡＲＡＭ Ｐ．， ｅｔ ａｌ．: 'Ｏｒｇａｎｉｃ Ｍｏｎｏｌａｙｅｒｓ ｆｒｏｍ １-Ａｌｋｙｎｅｓ Ｃｏｖａｌｅｎｔｌｙ Ａｔｔａｃｈｅｄ ｔｏ Ｃｈｒｏｍｉｕｍ Ｎｉｔｒｉｄｅ： Ａｌｋｙｌ ａｎｄ Ｆｌｕｏｒｏａｌｋｙｌ Ｔｅｒ' Ｌａｎｇｍｕｉｒ Ｖｏｌ．２９， Ｎｏ．３３, ｐ．１０３９３-１０４０４ （２０１３）．
Attorney, Agent or Firm:
Samejima Mutsumi
Yoshida Tamaki
Yoshida Tamaki