Title:
自動交換装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024006214
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】切削ブレードの交換を繰り返しても、切削ブレードを確実に保持することができるとともに、切削ブレードのＩＤを読み取り可能な状態に維持することができる自動交換装置を提供する。【解決手段】自動交換装置２は、複数の切削ブレードを保管する切削ブレード保管手段４と、切削ブレード保管手段４から切削ブレードを搬出および搬入する搬出入手段６と、搬出入手段６を切削ブレード保管手段４に対してＹ軸方向の作用位置と退避位置とに位置づけるＹ軸方向位置付け手段８と、搬出入手段６をＺ軸方向に移動するＺ軸移動手段１０と、搬出入手段６をＸ軸方向に移動して切削手段のスピンドルに装着された切削ブレードに作用するＸ軸移動手段１２と、洗浄手段１３と、を少なくとも備える。洗浄手段１３は、ブレード保持部４８を洗浄するブレード保持部洗浄部と、ブレード保持部４８に保持された切削ブレードの裏面側を洗浄する切削ブレード洗浄部と、を有する。【選択図】図１
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Inventors:
Takudo Onnaya
Ryo Kondo
Terashi Kentaro
Ryo Kondo
Terashi Kentaro
Application Number:
JP2022106908A
Publication Date:
January 17, 2024
Filing Date:
July 01, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B23Q3/155; B24B45/00; B24B27/06; B24B55/06; H01L21/301
Attorney, Agent or Firm:
Sachiko Okunuki
Tsuyoshi Tsukano
Yoshifumi Kaneko
Tsuyoshi Tsukano
Yoshifumi Kaneko