Title:
基板収納容器
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024041454
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】 アダプタからレチクル収容容器が浮き上がるのを抑制し、レチクル収容容器を上方向に傾けて容易に取り外し可能な基板収納容器を提供する。【解決手段】 半導体ウェーハ収納用の容器本体と、容器本体に収納されるレチクル収容容器３０用のアダプタ４０と、アダプタ４０の搭載面４１に配設されるレチクル収容容器３０用の複数の位置決めバー５０とを備え、容器本体内の両側に、半導体ウェーハを水平に支持する一対の支持片を対設して上下方向に配列し、アダプタ４０を一対の支持片に支持される円板に形成して搭載面後部にレチクル収容容器３０に隙間を介し対向する傾斜角拡大溝４３を形成し、複数の位置決めバー５０を、レチクル収容容器３０の周縁前部用の前部位置決めバー５２と、周縁後部用の後部位置決めバー５３と、周縁側部用の側部位置決めバー５７とから構成し、後部位置決めバー５３を断面逆Ｌ字形として傾斜角拡大溝４３に隣接させる。【選択図】 図５
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Inventors:
Fumiya Homma
Ogawa Ogawa
Hiroshi Mimura
Ogawa Ogawa
Hiroshi Mimura
Application Number:
JP2022146284A
Publication Date:
March 27, 2024
Filing Date:
September 14, 2022
Export Citation:
Assignee:
Shin-Etsu Polymer Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/673
Attorney, Agent or Firm:
Eisuke Fujimoto
Masayoshi Kanda
Akishige Miyao
Nobuyuki Baba
Masayoshi Kanda
Akishige Miyao
Nobuyuki Baba