Title:
エネルギービーム偏向速度の確認
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017527696
Kind Code:
A
Abstract:
エネルギービームスポットの偏向速度を確認する方法であって、本方法は、エネルギービームスポットを第１の偏向速度で偏向させながら、エネルギービームスポットを用いてワークテーブル上に所定のパターンを設けるステップと、第１の偏向速度で作り出されたワークテーブル上のエネルギービームスポットの第１の位置を検出するステップと、エネルギービームスポットを第２の偏向速度で偏向させながら、エネルギービームスポットを用いてワークテーブル上に所定のパターンを設けるステップと、第２の偏向速度で作り出されたワークテーブル上のエネルギービームスポットの第２の位置を検出するステップと、第１および第２の位置を比較するステップであって、第１の位置の各位置の、対応する第２の位置からのずれが、所定の距離未満であれば、偏向速度は確認される、ステップと、を含む、方法。【選択図】図２
Inventors:
Snith andels
Application Number:
JP2017505643A
Publication Date:
September 21, 2017
Filing Date:
July 30, 2015
Export Citation:
Assignee:
A-Cam Arb
International Classes:
B22F3/16; B22F3/105; B23K15/00; B23K26/21; B23K26/34; B29C64/153; B29C64/264
Domestic Patent References:
| JP2000167938A | 2000-06-20 | |||
| JPH08318574A | 1996-12-03 | |||
| JP2005133120A | 2005-05-26 | |||
| JP2002210835A | 2002-07-31 | |||
| JP2004009574A | 2004-01-15 | |||
| JP2012055960A | 2012-03-22 | |||
| JP2000296560A | 2000-10-24 | |||
| JP2000309058A | 2000-11-07 | |||
| JP2009524525A | 2009-07-02 |
Attorney, Agent or Firm:
Hayashi Ichiyoshi
Tetsuo Shiba
Iwaike Mitsuru
Tetsuo Shiba
Iwaike Mitsuru