Title:
クリーンエア装置および塵埃点検方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2016079777
Kind Code:
A1
Abstract:
クリーンエア装置において、フィルタを通して清浄空気を供給し、吹き出し空気が層流である作業室で、空間内の塵埃数を測定しその増加を確実に発見できる装置構造および塵埃点検方法を提供するために、クリーンエア装置は、空気清浄手段と、空気清浄手段から吹き出される空気を整流化して層流を生成するために空気清浄手段の下流側に配置された整流手段と、整流手段の下流側に配置された作業室とを備え、空気清浄手段と整流手段との間に形成された空間の壁面に当該空間内の空気を外部に取り出す吸引口を１つ以上設けた構造とする。
Inventors:
Keiichi Ono
Hirotoshi Sato
Hirotoshi Sato
Application Number:
JP2016559699A
Publication Date:
April 27, 2017
Filing Date:
November 17, 2014
Export Citation:
Assignee:
Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd.
International Classes:
B01L1/00; F24F7/06; F24F13/08
Domestic Patent References:
| JPS5348199U | 1978-04-24 | |||
| JPS5348199U | 1978-04-24 | |||
| JPH01107851A | 1989-04-25 | |||
| JPH06121935A | 1994-05-06 | |||
| JPH03275150A | 1991-12-05 | |||
| JPH09250802A | 1997-09-22 | |||
| JPH07243696A | 1995-09-19 | |||
| JP2005218925A | 2005-08-18 | |||
| JP2011202945A | 2011-10-13 | |||
| JP2001108606A | 2001-04-20 | |||
| JP2005279575A | 2005-10-13 | |||
| JPH01107851A | 1989-04-25 | |||
| JPH06121935A | 1994-05-06 | |||
| JPH03275150A | 1991-12-05 | |||
| JPH09250802A | 1997-09-22 | |||
| JPH07243696A | 1995-09-19 | |||
| JP2005218925A | 2005-08-18 | |||
| JP2011202945A | 2011-10-13 | |||
| JP2001108606A | 2001-04-20 | |||
| JP2005279575A | 2005-10-13 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Business Corporation Daiichi International Patent Office