Title:
A conductive contact child for an inspection, and a semiconductor inspection device
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6243584
Kind Code:
B1
Abstract:
第１の端部と、第１の端部と対向する第２の端部とを有する導電性接触子を提供する。第１の端部は、第１から第４の直線状リッジと第１から第５の頂点を有し、第１から第４の直線状リッジは互いに隔たれ、かつ十字を形成するように配置される。第１から第４の頂点は第1の端部の外周にあり、それぞれ第１の直線状リッジと第２の直線状リッジの間、第２の直線状リッジと第３の直線状リッジの間、第３の直線状リッジと第４の直線状リッジの間、第４の直線状リッジと第１の直線状リッジの間に設けられる。
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Inventors:
Hironaka Hironaka
Kazuya Soma
Satoshi Soji
Ryosuke Yamaguchi
Kazuya Soma
Satoshi Soji
Ryosuke Yamaguchi
Application Number:
JP2017539049A
Publication Date:
December 06, 2017
Filing Date:
February 01, 2017
Export Citation:
Assignee:
Nippon Jojo Co., Ltd.
International Classes:
G01R1/067; G01R31/26
Domestic Patent References:
| JPH10214649A | 1998-08-11 | |||
| JPS5896259U | 1983-06-30 | |||
| JP2014085207A | 2014-05-12 | |||
| JPS6179273U | 1986-05-27 | |||
| JP2013130516A | 2013-07-04 |
Foreign References:
| US4417206A | 1983-11-22 | |||
| US4571540A | 1986-02-18 |
Attorney, Agent or Firm:
Takahashi Hayashi & Partners